氮化硅在使用的時候可以在很廣泛的溫度范圍內進行使用的，并且可以直接進行化合反應就可以得到氮化硅； 也可用二亞胺合成或用碳熱還原反應在1400-1450°C的氮氣氣氛下合成：對單質硅的粉末進行滲氮處理的合成方法是在二十世紀50年代隨著對氮化硅的重新“發現”而開發出來的。也是一種用于大量生產氮化硅粉末的方法。但如果使用的硅原料純度低會使得生產出的氮化硅含有雜質硅酸鹽和鐵。用二胺分解法合成的氮化硅是無定形態的。